1、深冷空分制氮，即把壓縮空氣液化，通入分餾塔，然后利用氧氣、氮氣的沸點不同，分離出氮氣（純度基本固定在99.9995%）和富氧（35％的氧氣＋氮氣）。深冷分離是成熟的工藝，一般適合于大型空分，且由于啟動時間在2個小時以上，啟動成本高，所以對用氣連續性要求很高。適合大型用氮，純度要求高，用氣連續波動少的用戶。

2、膜分離制氮，即通過膜對氮氣、氧氣通過的選擇性不同制氮的。氮氣純度一般95％左右，膜分離制氮技術還不是很成熟，市場應用不多。

3、變壓吸附制氮（PSA），即利用分子篩不同壓力下對氮氣、氧氣的吸附率不同而制氮的。這也是適合小型制氮的技術。經濟制氮的純度范圍可以在99～99.9％。